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恒奧德儀器紫外光加臭氧清洗機(jī)具體操作流程

通過(guò)紫外線(xiàn)和臭氧的協(xié)同作用實(shí)現(xiàn)表面清洗，其核心原理如下：

協(xié)同作用機(jī)制

設(shè)備采用雙波長(zhǎng)紫外線(xiàn)（185nm和254nm）與臭氧結(jié)合：

?185nm紫外線(xiàn)?將空氣中的氧氣（O?）分解為臭氧（O?）；

?254nm紫外線(xiàn)?激發(fā)臭氧（O?）產(chǎn)生活性氧原子（O）；

活性氧原子與物體表面的有機(jī)污染物發(fā)生氧化反應(yīng)，將其分解為二氧化碳（CO?）、水（H?O）等無(wú)害物質(zhì)。 ?

具體操作流程

?污染物分解?：有機(jī)污染物在雙波長(zhǎng)紫外線(xiàn)和臭氧作用下，化學(xué)鍵被破壞并氧化；

?氣體揮發(fā)?：分解產(chǎn)物以氣體形式逸出物體表面，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清潔；

?適用場(chǎng)景?：適用于石英/玻璃制品、微電子元件、精密電路板等對(duì)清潔度要求高的場(chǎng)景。 ?

該設(shè)備通過(guò)非接觸式清洗，避免損傷基材，效率高于傳統(tǒng)方法